









一般洁净室高度控制在2。60米,对个别较高的设备可在局部加高,工程实验室净化,而不宜提高洁净区的高度。洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质---的洁净室。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在---集成电路生产的光刻工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
1级:主要应用于电子工业,这是目前对净化工程要求高的环境,集成电路要求的精度要达到亚微米。随着微电子工业技术领域的突飞猛进,对洁净室的要求越来越高。及时生产间内的例子直径仅有1微米,也会使产品寿命受到影响。洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质---的洁净室。排风系统有一般排风系统、有机气体排风系统、酸性气体排风系统、碱性气体排风系统等,净化车间设计时,要根据实际情况选择。
直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0。24um线性膨胀,所以必须有±0。1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,---是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。我们的空气分子控制等的技术正在朝有利的方向发展,这项技术原先是由日本发展起来的,现在已经受到了全的关注和---,在我们,这项技术已经受到了相关行业的重视并且投入研发,相信在不久的未来,我们的相关科研人员一定会在这个领域取得让人满意的成绩,为我们的净化工程行业做出贡献。洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。
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